無塵室系統工程

無塵(菌)室設備系統工程規劃、設計、按裝承包;辦公室、廠房、無塵室自動控制設備之規劃設計及安裝、維護業務。

無塵室的分類

以直徑0.5微米的塵粒做為比較標準,在1立方英吋的空間中,大於0.5微米的塵粒少於一個,就稱為Class 1,而大於0.5微米的塵粒少於十個,就稱為Class 10,大於0.5微米的塵粒少於1000個,就稱為Class 1000。目前半導體積體電路產品都是在Class100的潔淨室中製造。

無塵室之特性

無塵室和一般的空調最大的不同有以下幾點:
一、溫濕度的要求比一般空調低
二、對空氣品質的要求較嚴格
三、全外氣量與換氣次數大
四、恆溫恆濕的控制
五、無塵室空調系統24小時全天運轉
六、氣流的分部需均勻
七、運轉的成本相當高
八、需與鄰近的區域維持壓差(clean room為正壓)

無塵室的種類

亂流式(Class1000~100k):
優點:構造簡單,建造成本低,擴充容易。
缺點:微塵粒子飄浮不易排出,停止運轉再啟動,欲達需求之潔淨度,需耗時相當長時間。

層流式、水平層流式(Class1~1000):
優點:構造簡單,運轉後短時間內即可變穩定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
 
垂直層流式(Class1~100):
優點:管理容易,運轉短時間即可達穩定態。
缺點:建造費用高,彈性運用空間較困難。